Сверхплотный тлеющий разряд. Теория катодной области

Предложены физическая модель и теория сверхплотного тлеющего разряда с полым катодом. Теория учитывает баланс заряженного и нейтрального компонентов плазмы, баланс энергии пучковых и плазменных электронов, а также баланс энергии атомов. Существенным является учет инерционного члена в уравнении движения ионов, учет торможения атомов силой трения потока ионов, а также нагрев атомов. Уравнения для расчета параметров разряда получены в безразмерном виде, облегчающем использование результатов. Проведены расчеты типичных режимов разряда и определены зависимости от координаты концентрации плазмы, скорости ионов, концентрации и скорости атомов, температуры атомов. Исследованы предельные режимы разрядов.