Влияние добавок $\mathrm{Ar}$ и $\mathrm{He}$ на параметры и состав плазмы $\mathrm{HCl}$

Проведено модельное исследование влияния начального состава смесей $\mathrm{HCl}$-$\mathrm{Ar}$ и $\mathrm{HCl}$-$\mathrm{He}$ на стационарные параметры и состав плазмы тлеющего разряда постоянного тока ($p=40$–$200$ Па, $i_p=15$–$35$ мА). Получены расчетные данные по энергетическим распределениям электронов, интегральным характеристикам электронного газа, а также концентрациям заряженных частиц. Показано, что основные эффекты влияния начального состава смеси на концентрации активных частиц связаны с изменением кинетики процессов при электронном ударе.