Характеристики поперечного объемного разряда в $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ и смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$

Определены условия зажигания и характеристики поперечного объемного разряда наносекундной длительности в среде фреона-12 $(\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2)$ и смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$. Показано, что в УФ-ВУФ-области спектра плазма на основе молекул $\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ является источником излучения возбужденных атомов углерода и молекул $\mathrm{Cl}_2$. Объемная стадия разряда существует при $U_{\text{зар}}\le12$ кВ и $[\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2]=0.1-3$ кПа, а вид осциллограмм тока и напряжения подобен соответствующим характеристикам поперечного разряда с допробойным размножением электронов в смесях $\mathrm{He}(\mathrm{Ne})/\mathrm{SF}_6(\mathrm{F}_2)$. Плазма смеси $\mathrm{Ar}/\mathrm{CF}_2\mathrm{Cl}_2$ является источником излучения полос $\lambda=258$ нм для $\mathrm{Cl}_2^*$, $193$ нм для $\mathrm{ArF}$, $175$ нм для $\mathrm{ArCl}$. Такие источники могут использоваться в импульсной коротковолновой фотометрии, микроэлектронике, фото- и биохимии.