Электродинамика электродного СВЧ-разряда пониженного давления

Представлены результаты самосогласованного двухмерного моделирования самостоятельного стационарного электродного СВЧ-разряда в камере на конце центрального проводника коаксиальной линии. Проведены расчеты параметров разряда в диффузионном режиме в водороде при давлениях $0.5$, $2$ и $8$ Тор и падающих мощностях $30$–$200$ Вт. Исследована зависимость согласования разрядной камеры с подводящим трактом от геометрических размеров камеры в присутствии плазмы. Показано что основным фактором, влияющим на структуру плазменного образования и его согласование с волной накачки, является длина центрального электрода. Максимумы и минимумы согласования чередуются при удлинении центрального электрода на четверть длины волны. Максимумы и минимумы согласования для случая низкого давления ($<2$ Тор) смещены на $\lambda/4$ относительно таковых для высокого давления ($>2$ Тор). Проанализирована проблема максимального энерговклада в разрядную область на конце антенны-электрода. Показано, что существует ограничение на максимальный энерговклад в такой разряд (соответственно, и на размер плазменного образования). Эти ограничения связаны либо с убеганием разряда в сторону генератора, либо с зажиганием разряда в области ввода антенны в камеру.