Влияние условий электронно-циклотронного резонанса в СВЧ-разряде ионного источника на извлекаемый ток

Рассмотрена модель СВЧ-разряда в режиме электронно-циклотронного резонанса, основанная на непосредственном решении кинетического уравнения Больцмана, без использования приближения максвелловской функции распределения электронов. Показана существенно иная зависимость динамики развития разряда от параметров электрического и магнитного полей, чем при функции распределения Максвелла, заключающаяся в резком переходе электронов плазмы в режим убегания при превышении определенного значения поля. Результатами моделирования объяснены экспериментальные зависимости плотности ионного тока, извлекаемого из СВЧ ионного источника с электронно-циклотронным резонансом, от распределения магнитного поля. Сформулирован более общий принцип выбора распределения магнитного поля для такого источника, обеспечивающий получение максимального ионного тока.