О необходимости учета гетерогенной рекомбинации атомов при изучении кинетики травления меди в плазме хлора

Изучена кинетика рекомбинации атомов хлора на стенке плазмохимического реактора и образцах фольгированной меди в зоне положительного столба тлеющего разряда в хлоре. Получены абсолютные значения констант скоростей процессов гетерогенной рекомбинации атомов хлора на поверхностях, ограничивающих зону плазмы, и химического взаимодействия атомов хлора с медью, а также вероятности этих процессов в интервале температур $300$–$600$ К. Показано, что без учета процесса гетерогенной рекомбинации атомов на медных образцах вероятность химического взаимодействия атомов хлора с медью, экспериментально получаемая с использованием релаксационной импульсной методики, оказывается завышенной в среднем на $15\%$.