Вакуумные дуговые разряды с диффузной катодной привязкой (обзор)

Обзор охватывает результаты преимущественно экспериментальных исследований стационарного дугового разряда с диффузной катодной привязкой, горящего в парах материала катода с плотностью тока на нем менее $100$ А/см$^2$. Такие разряды представляют большой интерес для ряда технологий, в которых требуется формирование интенсивных потоков плазмы без капельной фракции. Рассмотрены разряды на катодах из графита, чистых металлов и оксидов, а также на смешанных катодах. Специфика процессов на катодах вакуумных дуг характеризуется отношением потоков термически испаренных атомов и электронов термоэмиссии. В обзоре представлены результаты исследований катодных материалов с атом-электронным отношением в диапазоне от $\sim10^{–2}$ до $\sim10^8$. Приведены данные о рабочей температуре катода, вольт-амперной характеристике разряда, тепловом потоке из плазмы на катод, параметрах плазмы, спектре ее излучения и энергии ионов в катодной струе. В зависимости от материала катода его рабочая температура изменялась от $1.2$ до $2.5$ кК. Также представлены данные анализа особенностей процессов переноса заряда на различных катодах.