Неоднородный СВЧ-разряд в кислороде

Представлены результаты одномерного квазистатического моделирования стационарного СВЧ-разряда в системе электродов со сферической симметрией в кислороде при давлениях $1$—$8$ Торр. Модель включает уравнение для напряженности электрического поля в квазистатическом приближении, уравнение Пуассона, балансные уравнения, определяющие кинетику заряженных и нейтральных частиц плазмы, стационарное однородное уравнение Больцмана для электронов. Для учета процессов с участием колебательно-возбужденных частиц применялось известное аналитическое выражение для колебательного распределения молекул, полученное в диффузионном приближении. Показано, что присутствие отрицательных ионов не приводит к отличиям в электродинамике разряда от разряда в азоте. Исследован состав тяжелой компоненты плазмы и, в частности, показано, что концентрация молекул в состоянии $\text{O}_2(a^1\Delta)$ может достигать $20\%$.