Параметры плазмы и кинетика образования и гибели активных частиц в смесях хлора с азотом

Проведено исследование влияния начального состава смеси Cl$_2$/N$_2$ на электрофизические и кинетические параметры плазмы тлеющего разряда постоянного тока. Установлено, что разбавление хлора азотом вызывает изменение функции распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ), сопровождающееся ростом средней энергии электронов и констант скоростей пороговых элементарных процессов. Показано, что основным механизмом генерации атомов хлора является диссоциация Cl$_2$ электронным ударом, при этом вклады ступенчатых процессов с участием метастабильных N$_2^*(A^3\Sigma_u^+)$ и колебательно-возбужденных N$_2^*(v \ge 7)$ молекул пренебрежимо малы. Предположение о первом кинетическом порядке гетерогенной рекомбинации атомов хлора с вероятностью $(4–5)\times 10^{-4}$ обеспечивает удовлетворительное согласование расчетных и экспериментальных данных по приведенной напряженности поля, константе скорости рекомбинации и концентрации атомов.