|
Исследование плазмы
Генерация пористой металлической пленки на основании дугового разряда
А. В. Дыренков, Б. М. Смирнов, Д. В. Терешонок Объединенный институт высоких температур РАН, г. Москва
Аннотация:
Метод испарения медной проволоки используется для получения пористой медной пленки на поверхности кремния. Найдено распределение поверхностных кластеров по размерам и плотности. Средний размер полученных кластеров при оптимальных условиях (на расстоянии $2$ мм от разряда) – порядка $0.5$ мкм, плотность напыления – $3$–$5$ кластеров на кв. мкм.
Поступила в редакцию: 03.11.2016 Принята в печать: 27.12.2016
Образец цитирования:
А. В. Дыренков, Б. М. Смирнов, Д. В. Терешонок, “Генерация пористой металлической пленки на основании дугового разряда”, ТВТ, 55:6 (2017), 685–688; High Temperature, 55:6 (2017), 841–843
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/tvt10772 https://www.mathnet.ru/rus/tvt/v55/i6/p685
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 245 | PDF полного текста: | 83 | Список литературы: | 39 | Первая страница: | 5 |
|