Теплофизические характеристики диффузии в кристаллической фазе кремния

Диффузия в кристаллической фазе кремния изучается для того, чтобы выявить диффузионные характеристики, величина которых не за­висит от условий опыта и постоянна для целого класса диффузионных систем. Приводятся обзор экспериментальных данных по температурной зависимости коэффициента диффузии $D$ и сопоставление эксперимен­тальных данных с эмпирическим законом Аррениуса, а также с основ­ными положениями кинетической и термодинамической теории диффу­зии. Проведена классификация аномальных фактов диффузии и изучена связь между различными классами аномалей. Показано, что имеет место общая аномалия, которая приводит к задаче преобразования индиви­ дуального соотношения Аррениуса в общее теплофизическое соотноше­ние. Для решения этой задачи изучается характер индивидуальных осо­бенностей диффузионных систем.