|
Сибирский журнал индустриальной математики, 2013, том 16, номер 4, страницы 75–86
(Mi sjim806)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)
О функционировании СВЧ микроэлектромеханического резонатора
Э. Г. Косцовa, С. И. Фадеевb a Институт автоматики и электрометрии СО РАН, пр. Акад. Коптюга, 1, 630090 г. Новосибирск
b Институт математики им. С. Л. Соболева СО РАН, пр. Акад. Коптюга, 4, 630090 г. Новосибирск
Аннотация:
Рассматривается новая конструкция микроэлектромеханического резонатора c микрометровыми размерами, функционирующего на гигагерцовых частотах, ранее предложенная авторами. Статья содержит описание как технологических проблем реализации микроэлектромеханического резонатора, так и строгое обоснование его функционирования в рамках математической модели. При этом в аналитическом виде устанавливается связь между параметрами автоколебаний подвижного элемента прибора, возникающих под воздействием электростатического притяжения во время запуска, и параметрами собственных колебаний, в которые переходят автоколебания по окончанию запуска.
Ключевые слова:
СВЧ МЕМС, микрорезонатор, генератор частоты, электростатическое притяжение, автоколебания, собственные колебания, фазовый портрет, жесткость пружины.
Статья поступила: 27.07.2013
Образец цитирования:
Э. Г. Косцов, С. И. Фадеев, “О функционировании СВЧ микроэлектромеханического резонатора”, Сиб. журн. индустр. матем., 16:4 (2013), 75–86
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/sjim806 https://www.mathnet.ru/rus/sjim/v16/i4/p75
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 267 | PDF полного текста: | 93 | Список литературы: | 59 | Первая страница: | 4 |
|