|
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)
Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных
И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 1, стр. 4, г. Москва 119234, Россия
b Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, ул. Ленинские горы, д. 1, стр. 2, г. Москва 119991, Россия
Аннотация:
Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных покрытий с использованием оптических измерений. Вводится новый нелокальный
алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса
напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования
традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоёв оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Показывается, что нелокальный
алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без
коррекции уровня сигнала прерывания напыления, так и с коррекцией этого
уровня.
Ключевые слова:
обратные задачи, анализ экспериментальных данных, вычислительные алгоритмы, тонкослойные покрытия.
Статья поступила: 13.12.2019 Окончательный вариант: 03.02.2020
Образец цитирования:
И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных”, Сиб. журн. индустр. матем., 23:2 (2020), 93–105; J. Appl. Industr. Math., 14:2 (2020), 330–339
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/sjim1090 https://www.mathnet.ru/rus/sjim/v23/i2/p93
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 271 | PDF полного текста: | 122 | Список литературы: | 44 | Первая страница: | 7 |
|