Сибирский журнал индустриальной математики
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Сиб. журн. индустр. матем.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Сибирский журнал индустриальной математики, 2020, том 23, номер 2, страницы 93–105
DOI: https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207 (Mi sjim1090) 		 
Эта публикация цитируется в 8 научных статьях (всего в 8 статьях)

Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных

И. В. Кочиковa, Ю. С. Лагутинb, А. А. Лагутинаb, Д. В. Лукьяненкоb, А. В. Тихонравовa, А. Г. Яголаb

a Научно-исследовательский вычислительный центр Московского государственного университета им. М.В. Ломоносова, Ленинские горы, 1, стр. 4, г. Москва 119234, Россия
b Московский государственный университет им. М. В. Ломоносова, ул. Ленинские горы, д. 1, стр. 2, г. Москва 119991, Россия
PDF полного текста (639 kB) Список цитирования (8)
Список литературы:
PDF
HTML
DOI: https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207
Аннотация: Рассматривается обратная задача контроля процесса напыления многослойных покрытий с использованием оптических измерений. Вводится новый нелокальный алгоритм обработки данных измерений. На основе симуляции процесса напыления сравниваются ошибки, возникающие в случае использования традиционного локального и предложенного нелокального алгоритмов. Рассматривается схема коррекции уровней остановки напыления слоёв оптических покрытий, позволяющая повысить точность контроля напыления. Показывается, что нелокальный алгоритм оказывается более эффективным как в случае напыления без коррекции уровня сигнала прерывания напыления, так и с коррекцией этого уровня.
Ключевые слова: обратные задачи, анализ экспериментальных данных, вычислительные алгоритмы, тонкослойные покрытия.
Финансовая поддержка Номер гранта
Российский научный фонд 16–11–10219
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского научного фонда (проект 16–11–10219).
Статья поступила: 13.12.2019
Окончательный вариант: 03.02.2020
Англоязычная версия:
Journal of Applied and Industrial Mathematics, 2020, Volume 14, Issue 2, Pages 330–339
DOI: https://doi.org/10.1134/S1990478920020118
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 519.6
Образец цитирования: И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, А. Г. Ягола, “Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных”, Сиб. журн. индустр. матем., 23:2 (2020), 93–105; J. Appl. Industr. Math., 14:2 (2020), 330–339
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{KocLagLag20}
\by И.~В.~Кочиков, Ю.~С.~Лагутин, А.~А.~Лагутина, Д.~В.~Лукьяненко, А.~В.~Тихонравов, А.~Г.~Ягола
\paper Повышение точности контроля напыления оптических покрытий за счёт использования нелокального алгоритма анализа данных
\jour Сиб. журн. индустр. матем.
\yr 2020
\vol 23
\issue 2
\pages 93--105
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/sjim1090}
\crossref{https://doi.org/10.33048/SIBJIM.2020.23.207}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=45482737}
\transl
\jour J. Appl. Industr. Math.
\yr 2020
\vol 14
\issue 2
\pages 330--339
\crossref{https://doi.org/10.1134/S1990478920020118}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-85087756057}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/sjim1090
  • https://www.mathnet.ru/rus/sjim/v23/i2/p93
    • Эта публикация цитируется в следующих 8 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Сибирский журнал индустриальной математики
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:253
    PDF полного текста:108
    Список литературы:35
    Первая страница:7
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024