Индуцируемые лазером химические реакции осаждения из газовой фазы

Обобщены результаты исследования химических реакций осаждения различных веществ из газовой фазы при использовании энергии импульсного, квазинепрерывного и непрерывного излучений лазеров в интервале длин волн 0,193–10,6 мкм. Основное внимание уделено осаждению неорганических веществ, в том числе неметаллов (С, Si, Ge и др.), металлов (Cu, Au, Zn, Cd, Al, Cr, Mo, W, Ni) и ряда простых соединений. Подробно изложены экспериментальные данные по влиянию параметров излучения (длина волны, длительность и скважность импульсов, интенсивность излучения, форма и расположение лазерного луча) и природы реагентов (гидриды, галогениды, карбонилы, алкильные металлоорганические соединения и др.) на скорость осаждения и состав осадка. Рассмотрены особенности лазерно-химических реакций осаждения и перспективы их использования.
Библиография – 202 ссылки.