|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Индуцируемые лазером химические реакции осаждения из газовой фазы
В. В. Тесленко
Аннотация:
Обобщены результаты исследования химических реакций осаждения различных веществ из газовой фазы при использовании энергии импульсного, квазинепрерывного и непрерывного излучений лазеров в интервале длин волн 0,193–10,6 мкм. Основное внимание уделено осаждению неорганических веществ, в том числе неметаллов (С, Si, Ge и др.), металлов (Cu, Au, Zn, Cd, Al, Cr, Mo, W, Ni) и ряда простых соединений. Подробно изложены экспериментальные данные по влиянию параметров излучения (длина волны, длительность и скважность импульсов, интенсивность излучения, форма и расположение лазерного луча) и природы реагентов (гидриды, галогениды, карбонилы, алкильные металлоорганические соединения и др.) на скорость осаждения и состав осадка. Рассмотрены особенности лазерно-химических реакций осаждения и перспективы их использования. Библиография – 202 ссылки.
Образец цитирования:
В. В. Тесленко, “Индуцируемые лазером химические реакции осаждения из газовой фазы”, Усп. хим., 59:2 (1990), 177–196; Russian Chem. Reviews, 59:2 (1990), 103–115
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr791 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v59/i2/p177
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 75 |
|