Аннотация:
Рассмотрены и обобщены сведения о механизме термического разложения силанов. Выделены и охарактеризованы главные стадии этого процесса. Основное внимание уделено элементарным гомогенным реакциям, процессам осаждения кремния из газовой фазы и образования аэрозолей. Рассмотрены различные модели образования аэрозолей. Обсуждены результаты теоретических и экспериментальных исследований этого процесса. Приведены данные о химическом составе твердого продукта пиролиза силанов – осадка на стенках реактора и аэрозольных частицах. Отмечено, что содержание водорода в твердом продукте изменяется в широких пределах. Библиография – 211 ссылок.
Wu Sh.-Y., Lee Yu.-M., Wu J.-Sh., Lin M.-Ch., Int. J. Quantum Chem., 114:4 (2014), 278–288
Werner O. Filtvedt, Trygve Mongstad, Arve Holt, Morten Melaaen, Hallgeir Klette, International Journal of Chemical Reactor Engineering, 11:1 (2013), 57
Victor Kessler, Devendraprakash Gautam, Tim Hülser, Mathias Spree, Ralf Theissmann, Markus Winterer, Hartmut Wiggers, Gabi Schierning, Roland Schmechel, Adv Eng Mater, 15:5 (2013), 379