|
Эта публикация цитируется в 28 научных статьях (всего в 28 статьях)
Механизм термического разложения силанов
А. А. Онищук, В. Н. Панфилов Институт химической кинетики и горения СО РАН
Аннотация:
Рассмотрены и обобщены сведения о механизме термического разложения силанов. Выделены и охарактеризованы главные стадии этого процесса. Основное внимание уделено элементарным гомогенным реакциям, процессам осаждения кремния из газовой фазы и образования аэрозолей. Рассмотрены различные модели образования аэрозолей. Обсуждены результаты теоретических и экспериментальных исследований этого процесса. Приведены данные о химическом составе твердого продукта пиролиза силанов – осадка на стенках реактора и аэрозольных частицах. Отмечено, что содержание водорода в твердом продукте изменяется в широких пределах. Библиография – 211 ссылок.
Поступила в редакцию: 10.05.2000
Образец цитирования:
А. А. Онищук, В. Н. Панфилов, “Механизм термического разложения силанов”, Усп. хим., 70:4 (2001), 368–381; Russian Chem. Reviews, 70:4 (2001), 321–332
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr749 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v70/i4/p368
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 144 |
|