Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи химии, 2014, том 83, выпуск 8, страницы 758–782
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402 (Mi rcr711) 		 
Эта публикация цитируется в 9 научных статьях (всего в 9 статьях)

Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы

В. Ю. Васильевab, Н. Б. Морозоваc, И. К. Игуменовc

a Новосибирский государственный технический университет
b Общество с ограниченной ответственностью "СибИС", Новосибирск, Россия
c Институт неорганической химии им. А. В. Николаева СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (9)
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402
Аннотация: Рассмотрены химические и материаловедческие аспекты формирования тонких рутенийсодержащих пленок методами химического осаждения из газовой фазы, которые применяют в современных прецизионных технологиях. Проанализированы химические подходы к синтезу основных исходных соединений (предшественников), используемых в этих методах, процессы роста слоев и данные об основных физико-химических и электрических свойствах тонких рутенийсодержащих пленок.
Библиография — 120 ссылок.
Поступила в редакцию: 24.04.2013
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 2014, Volume 83, Issue 8, Pages 758–782
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402
Реферативные базы данных:
Образец цитирования: В. Ю. Васильев, Н. Б. Морозова, И. К. Игуменов, “Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы”, Усп. хим., 83:8 (2014), 758–782; Russian Chem. Reviews, 83:8 (2014), 758–782
Цитирование в формате AMSBIB
\RBibitem{VasMorIgu14}
\by В.~Ю.~Васильев, Н.~Б.~Морозова, И.~К.~Игуменов
\paper Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы
\jour Усп. хим.
\yr 2014
\vol 83
\issue 8
\pages 758--782
\mathnet{http://mi.mathnet.ru/rcr711}
\crossref{https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=21818616}
\transl
\jour Russian Chem. Reviews
\yr 2014
\vol 83
\issue 8
\pages 758--782
\crossref{https://doi.org/10.1070/RC2014v083n08ABEH004402}
\isi{https://gateway.webofknowledge.com/gateway/Gateway.cgi?GWVersion=2&SrcApp=Publons&SrcAuth=Publons_CEL&DestLinkType=FullRecord&DestApp=WOS_CPL&KeyUT=000343310000004}
\elib{https://elibrary.ru/item.asp?id=23987691}
\scopus{https://www.scopus.com/record/display.url?origin=inward&eid=2-s2.0-84906905523}
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr711
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v83/i8/p758
    • Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи химии Russian Chemical Reviews
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:155
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024