Аннотация:
Проанализированы и обобщены результаты исследований по применению широкополосного излучения газоразрядных ламп для активации твердофазных процессов — диффузии, синтеза тонких пленок, нанокристаллизации аморфных структур, рекристаллизации, модификации структур и свойств тонких пленок, формируемых различными методами. Показано, что эффект от фотонной обработки по сравнению с традиционной термической обработкой проявляется в ускорении процессов синтеза, повышении дисперсности формируемой структуры, снижении температурных порогов фазообразования. Обсуждены возможные механизмы фотонной активации технологических процессов. Библиография — 142 ссылки.
A. A. Grebennikov, A. I. Bocharov, S. B. Kushchev, D. V. Serikov, A. V. Kostyuchenko, E. N. Fedorova, I. V. Izvekova, I. A. Safonov, Inorg. Mater. Appl. Res., 11:3 (2020), 526
E. K. Belonogov, A. A. Grebennikov, V. A. Dybov, A. V. Kostyuchenko, S. B. Kushchev, I. A. Safonov, D. V. Serikov, V. A. Yuryev, Inorg. Mater. Appl. Res., 11:2 (2020), 338
Bakhteeva N.D., Todorova E.V., Kannykin S.V., Fourth Interdisciplinary Scientific Forum With International Participation New Materials and Promising Technologies, IOP Conference Series-Materials Science and Engineering, 525, IOP Publishing Ltd, 2019
N. D. Bakhteeva, A. L. Vasiliev, S. V. Kannykin, N. N. Kolobylina, E. V. Todorova, Inorg. Mater. Appl. Res., 10:2 (2019), 260
A. A. Grebennikov, A. I. Bocharov, D. V. Serikov, E. N. Fedorova, V. A. Dybov, A. A. Polovinkin, PHYSICS, TECHNOLOGIES AND INNOVATION (PTI-2019): Proceedings of the VI International Young Researchers' Conference, 2174, PHYSICS, TECHNOLOGIES AND INNOVATION (PTI-2019): Proceedings of the VI International Young Researchers' Conference, 2019, 020209
V. O. Kuzmina, A. A. Sinelnikov, S. A. Soldatenko, M. Sumets, J. Mater. Sci.-Mater. Electron., 29:23 (2018), 20097–20103
V. M. Ievlev, S. V. Kannykin, T. N. Il'inova, A. S. Baikin, T. Daiyub, V. V. Vavilova, A. N. Kosyreva, D. V. Serikov, Inorg. Mater., 53:10 (2017), 1013–1023
N. D. Bakhteyeva, A. L. Vasilyev, A. G. Ivanova, N. N. Kolobylina, Ye. V. Todorova, A. I. Ryazanov, S. T. Latushkin, V. N. Unezhev, Inorg. Mater. Appl. Res., 8:2 (2017), 268
M. S. Antonova, E. K. Belonogov, A. V. Boryak, V. V. Vavilova, V. M. Ievlev, Inorg Mater, 51:3 (2015), 283