|
Эта публикация цитируется в 50 научных статьях (всего в 50 статьях)
Фотохимические генераторы кислоты. Применение и современное состояние разработок
Н. А. Кузнецоваa, Г. В. Малковb, Б. Г. Грибовc a Государственный научный центр "Научно-исследовательский институт органических полупродуктов и красителей", г. Москва
b Институт проблем химической физики РАН, г. Черноголовка Московской обл.
c Научно-исследовательский институт молекулярной электроники, г. Москва, г. Зеленоград
Аннотация:
Фотохимические генераторы кислоты входят в состав фотоотверждаемых полимерных композиций и фоторезистов с химическим усилением, применяемых в микроэлектронной промышленности. В последнее время такие соединения становятся важными компонентами разнообразных технологических материалов. В обзоре дана классификация фотогенераторов кислоты и обобщены сведения о фотохимических процессах, приводящих к образованию фотокислот. В отдельном разделе представлены примеры их практического использования и показано современное состояние разработок.
Библиография — 118 ссылок.
Поступила в редакцию: 16.05.2019
Образец цитирования:
Н. А. Кузнецова, Г. В. Малков, Б. Г. Грибов, “Фотохимические генераторы кислоты. Применение и современное состояние разработок”, Усп. хим., 89:2 (2020), 173–190; Russian Chem. Reviews, 89:2 (2020), 173–190
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr4280 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v89/i2/p173
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 213 |
|