Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи химии, 2005, том 74, выпуск 5, страницы 452–483
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2005v074n05ABEH000886 (Mi rcr403) 		 
Эта публикация цитируется в 19 научных статьях (всего в 19 статьях)

Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы

В. Ю. Васильев, С. М. Репинский

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (19)
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2005v074n05ABEH000886
Аннотация: Обобщены сведения о методах химического осаждения из газовой фазы тонких слоев диэлектриков на основе нитрида, оксинитрида и диоксида кремния, а также фосфор- и борсодержащих силикатных стекол. Описаны аппаратура и методология осаждения слоев. Особое внимание уделено анализу и обсуждению кинетики осаждения и кинетическим моделям роста слоев. Охарактеризованы процессы роста слоев и приведены данные об основных физико-химических свойствах тонкослойных ковалентных диэлектрических материалов.
Библиография — 139 ссылок.
Поступила в редакцию: 28.11.2003
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 2005, Volume 74, Issue 5, Pages 413–441
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2005v074n05ABEH000886
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья


Образец цитирования: В. Ю. Васильев, С. М. Репинский, “Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы”, Усп. хим., 74:5 (2005), 452–483; Russian Chem. Reviews, 74:5 (2005), 413–441
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr403
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v74/i5/p452
    • Эта публикация цитируется в следующих 19 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи химии Russian Chemical Reviews
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024