В. Ю. Васильев, С. М. Репинский, “Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы”, Усп. хим., 74:5 (2005), 452–483; Russian Chem. Reviews, 74:5 (2005), 413

Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js

Успехи химии

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Успехи химии, 2005, том 74, выпуск 5, страницы 452–483
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2005v074n05ABEH000886 (Mi rcr403)

Эта публикация цитируется в 19 научных статьях (всего в 19 статьях)

Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы

В. Ю. Васильев, С. М. Репинский

Институт физики полупроводников им. А. В. Ржанова СО РАН, г. Новосибирск

PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (19)

DOI: https://doi.org/10.1070/RC2005v074n05ABEH000886

Аннотация: Обобщены сведения о методах химического осаждения из газовой фазы тонких слоев диэлектриков на основе нитрида, оксинитрида и диоксида кремния, а также фосфор- и борсодержащих силикатных стекол. Описаны аппаратура и методология осаждения слоев. Особое внимание уделено анализу и обсуждению кинетики осаждения и кинетическим моделям роста слоев. Охарактеризованы процессы роста слоев и приведены данные об основных физико-химических свойствах тонкослойных ковалентных диэлектрических материалов.
Библиография — 139 ссылок.

Поступила в редакцию: 28.11.2003

Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 2005, Volume 74, Issue 5, Pages 413–441
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2005v074n05ABEH000886

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

Образец цитирования: В. Ю. Васильев, С. М. Репинский, “Осаждение диэлектрических слоев из газовой фазы”, Усп. хим., 74:5 (2005), 452–483; Russian Chem. Reviews, 74:5 (2005), 413–441

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/rcr403

https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v74/i5/p452

Эта публикация цитируется в следующих 19 статьяx:

D.A. Zuza, V.O. Nekhoroshev, A.V. Batrakov, A.B. Markov, I.A. Kurzina, Vacuum, 207 (2023), 111690
Amir Hossein Mostafavi, Ajay Kumar Mishra, Fausto Gallucci, Jong Hak Kim, Mathias Ulbricht, Anna Maria Coclite, Seyed Saeid Hosseini, J of Applied Polymer Sci, 140:15 (2023)
V. Yu. Vasiliev, J Struct Chem, 63:7 (2022), 1019
Vasilyev V.Yu., ECS J. Solid State Sci. Technol., 10:5 (2021), 053004
V. L. Evdokimov, Izv. vysš. učebn. zaved., Mater. èlektron. teh., 24:2 (2021), 88
Savelyeva I.Yu., Zhuravskii V A., AIP Conference Proceedings, 2116, eds. Simos T., Tsitouras C., Amer Inst Physics, 2019, 380009
Savel'eva I.Yu. Zhuravskii A.V., Mater. Phys. Mech., 39:1 (2018), 120–127
Г. Н. Кувыркин, И. Ю. Савельева, А. В. Журавский, Матем. моделирование, 29:10 (2017), 75–85 ; G. N. Kuvyrkin, I. Yu. Savelyeva, A. V. Zhuravsky, Math. Models Comput. Simul., 10:3 (2018), 299–307
Savel'eva I.Yu. Zhuravskii A.V., International Conference Problems of Thermal Physics and Power Engineering (PTPPE-2017), Journal of Physics Conference Series, 891, IOP Publishing Ltd, 2017, UNSP 012134
Kuvyrkin G.N. Zhuravskii A.V. Savel'eva I.Yu., J. Eng. Phys. Thermophys., 89:6 (2016), 1374–1379
V. Yu. Vasilyev, N. B. Morozova, T. V. Basova, I. K. Igumenov, A. Hassan, RSC Adv, 5:41 (2015), 32034
Vasilyev V.Yu., ECS J. Solid State Sci. Technol., 4:1, SI (2015), N3164–N3167
Hill M.S., Johnson A.L., Manning T.D., Molloy K.C., Wickham B.J., Inorg. Chim. Acta, 422 (2014), 47–56
Vasilyev V.Yu., Morozova N.B., Igumenov I.K., Russ. Chem. Rev., 83:8 (2014), 758–782
Vladislav Yu. Vasilyev, Young W. Song, 2010 11th International Conference and Seminar on Micro/Nanotechnologies and Electron Devices, 2010, 9
Vasilyev V., Chung S.-H., Song Y.W., Solid State Technol., 50:8 (2007), 53+
Yushin A.S., Russ. J. Phys. Chem., 80:12 (2006), 2024–2028
Yushin A.S., Theor. Found. Chem. Eng., 40:6 (2006), 644–648
V. Yu. Vasilev, S. M. Repinsky, ChemInform, 36:45 (2005)

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	186

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы