|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Осаждение эпитаксиальных слоев из паров металлорганических соединений
Б. В. Жук Институт химии АН СССР, г. Горький
Аннотация:
Проведено сравнение разных методов осаждения эпитаксиальных слоев из паров металлорганических соединений. Рассмотрены вопросы устойчивости процессов осаждения и новые данные по получению эпислоев соединений AIIIBV, AIIBVI и AIVBVI. Библиография – 206 ссылок.
Образец цитирования:
Б. В. Жук, “Осаждение эпитаксиальных слоев из паров металлорганических соединений”, Усп. хим., 54:8 (1985), 1312–1334; Russian Chem. Reviews, 54:8 (1985), 770–785
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr3654 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v54/i8/p1312
|
|