|
Эта публикация цитируется в 5 научных статьях (всего в 5 статьях)
Технология, строение и свойства кремнийорганических диэлектриков – полиорганосилсесквиоксанов
А. М. Тоньшинa, Б. А. Камарицкийb, В. Н. Спекторb a Московский государственный педагогический институт им. В. И. Ленина
b Институт химической физики АН СССР, г. Москва
Аннотация:
Систематизированы и обобщены сведения о технологии получения полиорганосилсесквиоксанов, их строении и свойствах в сравнении с неорганическими окисными диэлектриками. Рассмотрены возможности и преимущества их применения в качестве диэлектрических материалов в полупроводниковой электронике; на основании анализа литературных данных по их экспериментальному исследованию сделан вывод об определяющем влиянии способа получения на механизм формирования молекул олигомеров, их превращения в полимеры и взаимодействия с различными подложками. Библиография – 281 ссылка.
Образец цитирования:
А. М. Тоньшин, Б. А. Камарицкий, В. Н. Спектор, “Технология, строение и свойства кремнийорганических диэлектриков – полиорганосилсесквиоксанов”, Усп. хим., 52:8 (1983), 1365–1409; Russian Chem. Reviews, 52:8 (1983), 775–803
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr3490 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v52/i8/p1365
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 98 |
|