|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
О кинетике и механизме реакций растворения и окисления полупроводников
С. М. Репинский Институт физики полупроводников СО АН СССР, г. Новосибирск
Аннотация:
Изложен обобщенный кинетический подход к рассмотрению процессов растворения полупроводников, в том числе процессов термического окисления кремния и германия. Подход включает статистически-термодинамический анализ адсорбционных стадий, анализ строения активированного комплекса и эффектов сольватации промежуточных и конечных продуктов, рассчитанных из модельных представлений. Библиография – 66 ссылок.
Образец цитирования:
С. М. Репинский, “О кинетике и механизме реакций растворения и окисления полупроводников”, Усп. хим., 52:6 (1983), 922–935; Russian Chem. Reviews, 52:6 (1983), 524–531
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr3472 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v52/i6/p922
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 80 |
|