О кинетике и механизме реакций растворения и окисления полупроводников

Изложен обобщенный кинетический подход к рассмотрению процессов растворения полупроводников, в том числе процессов термического окисления кремния и германия. Подход включает статистически-термодинамический анализ адсорбционных стадий, анализ строения активированного комплекса и эффектов сольватации промежуточных и конечных продуктов, рассчитанных из модельных представлений.
Библиография – 66 ссылок.