Аннотация:
Критически рассмотрено и систематизировано современное состояние способов создания неорганических покрытий из паровой фазы при разложении металлоорганических соединений (МОС). Проведена классификация способов по физико-химическим особенностям и физическим приемам их осуществления. Сопоставлены эффективность различных способов получения покрытий из паровой фазы при термораспаде МОС и возможности применения их для целенаправленного изменения свойств получаемых покрытий. Широко использованы патентные данные по различным способам и устройствам образования неорганических покрытий из паровой фазы при разложении МОС. Библиография – 96 ссылок.
Образец цитирования:
Г. А. Домрачев, О. Н. Суворова, “Получение неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений”, Усп. хим., 49:9 (1980), 1671–1686; Russian Chem. Reviews, 49:9 (1980), 810–819
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr3245
https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v49/i9/p1671
Эта публикация цитируется в следующих 9 статьяx:
Brigitte Caussat, Fernando L. Juarez, Constantin Vahlas, Powder Technology, 165:2 (2006), 65
В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр, Усп. хим., 69:12 (2000), 1149–1177; V. N. Vertoprakhov, S. A. Krupoder, Russian Chem. Reviews, 69:12 (2000), 1057–1082
Е. И. Цыганова, Л. М. Дягилева, Усп. хим., 65:4 (1996), 334–349; E. I. Tsyganova, L. M. Dyagileva, Russian Chem. Reviews, 65:4 (1996), 315–328
James T. Spencer, Progress in Inorganic Chemistry, 41, Progress in Inorganic Chemistry, 1994, 145