Получение неорганических покрытий при разложении металлоорганических соединений

Критически рассмотрено и систематизировано современное состояние способов создания неорганических покрытий из паровой фазы при разложении металлоорганических соединений (МОС). Проведена классификация способов по физико-химическим особенностям и физическим приемам их осуществления. Сопоставлены эффективность различных способов получения покрытий из паровой фазы при термораспаде МОС и возможности применения их для целенаправленного изменения свойств получаемых покрытий. Широко использованы патентные данные по различным способам и устройствам образования неорганических покрытий из паровой фазы при разложении МОС.
Библиография – 96 ссылок.