|
Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)
Окисление кремния
В. А. Арсламбеков, И. Д. Казаринова, К. М. Горбунова Институт физической химии АН СССР, г. Москва
Аннотация:
Статья представляет собой обзор работ, посвященных окислению кремния в различных газовых средах. Особое внимание уделено механизму образования и кинетике роста окисных пленок на кремнии при высокотемпературном окислении. Обсуждены литературные данные о составе и структуре образующейся пленки продуктов реакции, о зависимости скорости окисления от давления окисляющей среды и о возможном участии ионов кремния в процессе роста окисной пленки. Библиография – 120 наименований.
Образец цитирования:
В. А. Арсламбеков, И. Д. Казаринова, К. М. Горбунова, “Окисление кремния”, Усп. хим., 41:1 (1972), 64–83; Russian Chem. Reviews, 41:1 (1972), 36–46
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr2503 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v41/i1/p64
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 95 |
|