Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Успехи химии, 1972, том 41, выпуск 1, страницы 64–83
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1972v041n01ABEH002027
(Mi rcr2503)
 

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Окисление кремния

В. А. Арсламбеков, И. Д. Казаринова, К. М. Горбунова

Институт физической химии АН СССР, г. Москва
Аннотация: Статья представляет собой обзор работ, посвященных окислению кремния в различных газовых средах. Особое внимание уделено механизму образования и кинетике роста окисных пленок на кремнии при высокотемпературном окислении. Обсуждены литературные данные о составе и структуре образующейся пленки продуктов реакции, о зависимости скорости окисления от давления окисляющей среды и о возможном участии ионов кремния в процессе роста окисной пленки.
Библиография – 120 наименований.
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 1972, Volume 41, Issue 1, Pages 36–46
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1972v041n01ABEH002027
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 546.28


Образец цитирования: В. А. Арсламбеков, И. Д. Казаринова, К. М. Горбунова, “Окисление кремния”, Усп. хим., 41:1 (1972), 64–83; Russian Chem. Reviews, 41:1 (1972), 36–46
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr2503
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v41/i1/p64
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Успехи химии Russian Chemical Reviews
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:95
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024