В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр, “Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом”, Усп. хим., 69:12 (2000), 1149–1177; Russian Chem. Reviews, 69:12 (2000), 1057

Loading [MathJax]/jax/output/SVG/config.js

Успехи химии

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Успехи химии, 2000, том 69, выпуск 12, страницы 1149–1177
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572 (Mi rcr1557)

Эта публикация цитируется в 40 научных статьях (всего в 40 статьях)

Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом

В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр

Институт неорганической химии СО РАН, г. Новосибирск

PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (40)

DOI: https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572

Аннотация: Рассмотрены основные химические аспекты получения тонких медных пленок из паров летучих производных одно- и двухвалентной меди, используемых в качестве исходных веществ в CVD-технологии. Обобщены и систематизированы данные о методах синтеза и свойствах различных типов таких веществ. Обсуждены предполагаемые механизмы разложения медьсодержащих соединений в условиях CVD-процесса. Оценены перспективы использования CVD-технологии для получения тонких пленок меди в интегральных схемах микроэлектронных устройств.
Библиография – 432 ссылки.

Поступила в редакцию: 30.07.2000

Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 2000, Volume 69, Issue 12, Pages 1057–1082
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 539.23:546.56

Образец цитирования: В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр, “Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом”, Усп. хим., 69:12 (2000), 1149–1177; Russian Chem. Reviews, 69:12 (2000), 1057–1082

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/rcr1557

https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v69/i12/p1149

Эта публикация цитируется в следующих 40 статьяx:

N. N. Kostyuk, T. A. Dick, J Appl Spectrosc, 90:6 (2024), 1190
V. S. Sulyaeva, V. R. Shayapov, M. M. Syrokvashin, A. K. Kozhevnikov, M. L. Kosinova, J Struct Chem, 64:12 (2023), 2438
2023
Han W., Liu X., Wang L., Zhou X., Process Biochem., 98 (2020), 113–121
Kostyuk N.N., Dick T.A., Russ. J. Gen. Chem., 90:11 (2020), 2141–2146
Kostyuk N.N., Dik T.A., Kazak M.S., Metelsky Yu.M., J. Struct. Chem., 60:12 (2019), 1940–1945
Krisyuk B.V., Turgambaeva A.E., Stabnikov P.A., Igumenov I.K., Sysoev S.V., Rumyantsev Yu.M., Prokhorova S.A., Maksimovskii E.A., Maslova O.V., Russ. J. Appl. Chem., 91:7 (2018), 1068–1075
Yoda S., Takebayashi Y., Sue K., Furuya T., Otake K., J. Supercrit. Fluids, 123 (2017), 82–91
V. K. Kumykov, I. N. Sergeev, V. A. Sozaev, M. V. Gedgagova, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 81:3 (2017), 357
Xue-jiao ZHAI, Chuang LI, Xin DI, Dong-dong YIN, Chang-hai LIANG, Journal of Fuel Chemistry and Technology, 45:5 (2017), 537
Stollenz M., Fischer S., Gehring H., Resch S.G., Dechert S., Grosse Ch., Meyer F., J. Organomet. Chem., 821:SI (2016), 106–111
Polyakov M.S., Badalyan A.M., Kaichev V.V., Igumenov I.K., Chem. Vapor Depos., 20:4-6 (2014), 170–176
Shahid M., Mazhar M., Hamid M., Z. Kristall., 229:1 (2014), 47–52
V.V. Krisyuk, S.V. Sysoev, Y.M. Rumyantsev, S.A. Prokhorova, E.V. Maximovskiy, M.L. Kosinova, I.K. Igumenov, Physics Procedia, 46 (2013), 174
Huang Xiao-Lin, Hou Li-Zhen, Yu Bo-Wen, Chen Guo-Liang, Wang Shi-Liang, Ma Liang, Liu Xin-Li, He Yue-Hui, Acta Phys. Sin., 62:10 (2013), 108102
E. I. Isaeva, A. A. Zheleznyak, V. V. Gorbunova, V. P. Pronin, Russ J Gen Chem, 83:6 (2013), 1183
Shiliang Wang, Xiaolin Huang, Yuehui He, Han Huang, Yueqin Wu, Lizhen Hou, Xinli Liu, Taimin Yang, Jin Zou, Baiyun Huang, Carbon, 50:6 (2012), 2119
Mohammad Hossein Habibi, Reza Mokhtari, Maryam Mikhak, Mehdi Amirnasr, Ahmad Amiri, Spectrochimica Acta Part A: Molecular and Biomolecular Spectroscopy, 79:5 (2011), 1524
Oleksandr Hietsoi, Alexander S. Filatov, Cristina Dubceac, Marina A. Petrukhina, Dalton Trans., 40:34 (2011), 8598
Mohamed A.A., Coord. Chem. Rev., 254:17-18 (2010), 1918–1947

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	177

Что такое QR-код?

Обратная связь:
math-net2025_03@mi-ras.ru

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы