Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Успехи химии, 2000, том 69, выпуск 12, страницы 1149–1177
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572 (Mi rcr1557) 		 
Эта публикация цитируется в 39 научных статьях (всего в 39 статьях)

Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом

В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр

Институт неорганической химии СО РАН, г. Новосибирск
PDF полного текста Полный текст английской версии Список цитирования (39)
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572
Аннотация: Рассмотрены основные химические аспекты получения тонких медных пленок из паров летучих производных одно- и двухвалентной меди, используемых в качестве исходных веществ в CVD-технологии. Обобщены и систематизированы данные о методах синтеза и свойствах различных типов таких веществ. Обсуждены предполагаемые механизмы разложения медьсодержащих соединений в условиях CVD-процесса. Оценены перспективы использования CVD-технологии для получения тонких пленок меди в интегральных схемах микроэлектронных устройств.
Библиография – 432 ссылки.
Поступила в редакцию: 30.07.2000
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 2000, Volume 69, Issue 12, Pages 1057–1082
DOI: https://doi.org/10.1070/RC2000v069n12ABEH000572
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 539.23:546.56


Образец цитирования: В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр, “Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом”, Усп. хим., 69:12 (2000), 1149–1177; Russian Chem. Reviews, 69:12 (2000), 1057–1082
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr1557
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v69/i12/p1149
    • Эта публикация цитируется в следующих 39 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Успехи химии Russian Chemical Reviews
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:134
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024