|
Эта публикация цитируется в 40 научных статьях (всего в 40 статьях)
Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом
В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр Институт неорганической химии СО РАН, г. Новосибирск
Аннотация:
Рассмотрены основные химические аспекты получения тонких медных пленок из паров летучих производных одно- и двухвалентной меди, используемых в качестве исходных веществ в CVD-технологии. Обобщены и систематизированы данные о методах синтеза и свойствах различных типов таких веществ. Обсуждены предполагаемые механизмы разложения медьсодержащих соединений в условиях CVD-процесса. Оценены перспективы использования CVD-технологии для получения тонких пленок меди в интегральных схемах микроэлектронных устройств. Библиография – 432 ссылки.
Поступила в редакцию: 30.07.2000
Образец цитирования:
В. Н. Вертопрахов, С. А. Круподёр, “Получение тонких пленок меди из паровой фазы летучих производных меди(I) и меди(II) CVD-методом”, Усп. хим., 69:12 (2000), 1149–1177; Russian Chem. Reviews, 69:12 (2000), 1057–1082
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr1557 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v69/i12/p1149
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 155 |
|