Аннотация:
Обзор посвящен ионному наслаиванию – одному из методов синтеза тонкослойных структур, позволяющему наиболее точно регулировать толщину и задавать состав наносимого на поверхность подложки слоя. Библиография – 69 ссылок.
Образец цитирования:
В. П. Толстой, “Синтез тонкослойных структур методом ионного наслаивания”, Усп. хим., 62:3 (1993), 260–266; Russian Chem. Reviews, 62:3 (1993), 237–242
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr1090
https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v62/i3/p260
Эта публикация цитируется в следующих 39 статьяx:
Vyacheslav F. Markov, Ghenadii Korotcenkov, Larisa N. Maskaeva, Handbook of II-VI Semiconductor-Based Sensors and Radiation Detectors, 2023, 233
В. П. Толстой, Л. Б. Гулина, А. А. Мелешко, Усп. хим., 92:3 (2023), RCR5071 ; V. P. Tolstoy, L. B. Gulina, A. A. Meleshko, Russian Chem. Reviews, 92:3 (2023), RCR5071
Akanksha Agarwal, Babasaheb R. Sankapal, Simple Chemical Methods for Thin Film Deposition, 2023, 1
V. P. Tolstoy, A. A. Golubeva, E. O. Kolomina, D. V. Navolotskaya, S. S. Ermakov, J Anal Chem, 77:3 (2022), 257
Anna Z. Szeremeta, Andrzej Nowok, Maciej Zubko, Sebastian Pawlus, Irena Gruszka, Janusz Koperski, Andrzej Molak, Ceramics International, 47:24 (2021), 34619
R. Jayakrishnan, A. Raj, V. G. Nair, Физика и техника полупроводников, 55:3 (2021), 283–283; R. Jayakrishnan, A. Raj, V. G. Nair, Semiconductors, 55:3 (2021), 363–372
Chun Li, Xin Wang, Zi Jiao, Yu Zhang, Xiang Yin, Xue Cui, Yue Wei, Nanomaterials, 9:2 (2019), 247
Korotcenkov G.: Korotcenkov, G, Handbook of Humidity Measurement: Methods, Materials and Technologies Vol. 1: Spectroscopic Methods of Humidity Measurement, Crc Press-Taylor & Francis Group, 2018, 303–341