|
Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)
Процессы усиления эффектов светового воздействия на полимерные слои
А. В. Ванников, А. Д. Гришина Институт электрохимии им. А. Н. Фрумкина РАН
Аннотация:
В статье обсуждаются процессы усиления первичных эффектов фотовоздействия в полимерных слоях, основанные на комплексообразовании, автокатализе, автосенсибилизации, кислотном катализе. Рассматриваются области практического использования этих процессов. Основное внимание уделяется высокочувствительным фоторезистам для фотолитографического процесса, используемого в высоких технологиях. Библиография – 114 ссылок.
Поступила в редакцию: 10.09.1992
Образец цитирования:
А. В. Ванников, А. Д. Гришина, “Процессы усиления эффектов светового воздействия на полимерные слои”, Усп. хим., 62:1 (1993), 39–54; Russian Chem. Reviews, 62:1 (1993), 35–49
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/rcr1079 https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v62/i1/p39
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 69 |
|