Успехи химии
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Усп. хим.:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Успехи химии, 1993, том 62, выпуск 1, страницы 39–54
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1993v062n01ABEH000004
(Mi rcr1079)
 

Эта публикация цитируется в 6 научных статьях (всего в 6 статьях)

Процессы усиления эффектов светового воздействия на полимерные слои

А. В. Ванников, А. Д. Гришина

Институт электрохимии им. А. Н. Фрумкина РАН
Аннотация: В статье обсуждаются процессы усиления первичных эффектов фотовоздействия в полимерных слоях, основанные на комплексообразовании, автокатализе, автосенсибилизации, кислотном катализе. Рассматриваются области практического использования этих процессов. Основное внимание уделяется высокочувствительным фоторезистам для фотолитографического процесса, используемого в высоких технологиях.
Библиография – 114 ссылок.
Поступила в редакцию: 10.09.1992
Англоязычная версия:
Russian Chemical Reviews, 1993, Volume 62, Issue 1, Pages 35–49
DOI: https://doi.org/10.1070/RC1993v062n01ABEH000004
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 541.14+771.53


Образец цитирования: А. В. Ванников, А. Д. Гришина, “Процессы усиления эффектов светового воздействия на полимерные слои”, Усп. хим., 62:1 (1993), 39–54; Russian Chem. Reviews, 62:1 (1993), 35–49
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr1079
  • https://www.mathnet.ru/rus/rcr/v62/i1/p39
  • Эта публикация цитируется в следующих 6 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Успехи химии Russian Chemical Reviews
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:69
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024