В. З. Гочияев, В. П. Корольков, А. П. Соколов, В. П. Чернухин, “Полутоновая оптическая запись на пленках a-Si”, Квантовая электроника, 16:11 (1989), 2343–2348 [Sov J Quantum Electron, 19:11 (1989), 1506

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1989, том 16, номер 11, страницы 2343–2348 (Mi qe9597)

Эта публикация цитируется в 3 научных статьях (всего в 3 статьях)

Оптоэлектроника. Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Полутоновая оптическая запись на пленках a-Si

В. З. Гочияев, В. П. Корольков, А. П. Соколов, В. П. Чернухин

Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР, Новосибирск

PDF полного текста (1096 kB) Список цитирования (3)

Аннотация: Показано, что оптическая запись, основанная на просветлении пленок аморфного кремния при локальном нагреве сфокусированным лазерным пучком, является перспективной для изготовления полутоновых фотошаблонов дифракционных оптических элементов. Исследованы происходящие под действием лазерного излучения изменения оптических свойств и структуры пленок a-Si. Получено пространственное разрешение записи до 2000 лин./мм. Обсужден механизм, объясняющий экспериментальные результаты.

Поступила в редакцию: 09.08.1988

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1989, Volume 19, Issue 11, Pages 1506–1509
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1989v019n11ABEH009597

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 539.216:535.211

PACS: 42.79.Vb, 42.70.Ln, 42.70.Nq, 42.62.Cf, 78.66.Jg, 42.86.+b

Образец цитирования: В. З. Гочияев, В. П. Корольков, А. П. Соколов, В. П. Чернухин, “Полутоновая оптическая запись на пленках a-Si”, Квантовая электроника, 16:11 (1989), 2343–2348 [Sov J Quantum Electron, 19:11 (1989), 1506–1509]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe9597

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v16/i11/p2343

Эта публикация цитируется в следующих 3 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	132
PDF полного текста:	78
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы