Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1989, том 16, номер 11, страницы 2343–2348 (Mi qe9597)  

Эта публикация цитируется в 4 научных статьях (всего в 4 статьях)

Оптоэлектроника. Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Полутоновая оптическая запись на пленках a-Si

В. З. Гочияев, В. П. Корольков, А. П. Соколов, В. П. Чернухин

Институт автоматики и электрометрии СО АН СССР, Новосибирск
Аннотация: Показано, что оптическая запись, основанная на просветлении пленок аморфного кремния при локальном нагреве сфокусированным лазерным пучком, является перспективной для изготовления полутоновых фотошаблонов дифракционных оптических элементов. Исследованы происходящие под действием лазерного излучения изменения оптических свойств и структуры пленок a-Si. Получено пространственное разрешение записи до 2000 лин./мм. Обсужден механизм, объясняющий экспериментальные результаты.
Поступила в редакцию: 09.08.1988
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1989, Volume 19, Issue 11, Pages 1506–1509
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1989v019n11ABEH009597
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 539.216:535.211
PACS: 42.79.Vb, 42.70.Ln, 42.70.Nq, 42.62.Cf, 78.66.Jg, 42.86.+b


Образец цитирования: В. З. Гочияев, В. П. Корольков, А. П. Соколов, В. П. Чернухин, “Полутоновая оптическая запись на пленках a-Si”, Квантовая электроника, 16:11 (1989), 2343–2348 [Sov J Quantum Electron, 19:11 (1989), 1506–1509]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe9597
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v16/i11/p2343
  • Эта публикация цитируется в следующих 4 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024