Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1987, том 14, номер 6, страницы 1274–1278 (Mi qe9366)  

Применение лазеров и другие вопросы

Фотодефлекционная спектроскопия ионно-имплантированного кремния

А. В. Зенкевич, В. Н. Неволин, А. Н. Петровский, А. О. Сальник

Московский инженерно-физический институт
Аннотация: Методом фотодефлекционной спектроскопии (ФДС) изучены образцы монокристаллического кремния, имплантированные ионами висмута, железа и индия с энергией 25 кэВ. Показана возможность использования метода ФДС для контроля восстановления кристаллической структуры образцов при электронном отжиге. Изучена зависимость амплитуды ФДС-сигнала от дозы имплантированных ионов индия в диапазоне 5·1011–5·1015 см–2. Определен предел чувствительности метода по минимально детектируемой дозе имплантации – 2·1012 см–2. Сравниваются результаты исследований образцов методами ФДС и резерфордовского обратного рассеяния легких ионов.
Поступила в редакцию: 25.09.1986
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1987, Volume 17, Issue 6, Pages 811–814
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1987v017n06ABEH009366
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826
PACS: 61.66.Bi, 78.20.Ci, 61.80.Jh, 61.82.Fk, 81.40.Ef


Образец цитирования: А. В. Зенкевич, В. Н. Неволин, А. Н. Петровский, А. О. Сальник, “Фотодефлекционная спектроскопия ионно-имплантированного кремния”, Квантовая электроника, 14:6 (1987), 1274–1278 [Sov J Quantum Electron, 17:6 (1987), 811–814]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe9366
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v14/i6/p1274
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:146
    PDF полного текста:71
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024