Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1979, том 6, номер 5, страницы 1095–1097 (Mi qe9077)  

Краткие сообщения

Исследование процесса формирования дифракционных решеток на поверхности оптических волноводов

А. С. Свахин, В. А. Сычугов, Г. П. Шипуло

Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
Аннотация: Изучен процесс формирования решеток на стекле с помощью ионного травления через фоторезистивную маску. В качестве рабочего газа использовался фреон CF4. Показано, что для получения решетки с заданным профилем штриха необходимо тщательно контролировать форму маски.
Поступила в редакцию: 29.11.1978
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1979, Volume 9, Issue 5, Pages 645–647
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1979v009n05ABEH009077
Тип публикации: Статья
УДК: 621.372.8.09
PACS: 42.80.Fn, 42.80.Lt


Образец цитирования: А. С. Свахин, В. А. Сычугов, Г. П. Шипуло, “Исследование процесса формирования дифракционных решеток на поверхности оптических волноводов”, Квантовая электроника, 6:5 (1979), 1095–1097 [Sov J Quantum Electron, 9:5 (1979), 645–647]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe9077
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v6/i5/p1095
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024