|
Квантовая электроника, 1979, том 6, номер 5, страницы 1095–1097
(Mi qe9077)
|
|
|
|
Краткие сообщения
Исследование процесса формирования дифракционных решеток на поверхности оптических волноводов
А. С. Свахин, В. А. Сычугов, Г. П. Шипуло Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
Аннотация:
Изучен процесс формирования решеток на стекле с помощью ионного травления через фоторезистивную маску. В качестве рабочего газа использовался фреон CF4. Показано, что для получения решетки с заданным профилем штриха необходимо тщательно контролировать форму маски.
Поступила в редакцию: 29.11.1978
Образец цитирования:
А. С. Свахин, В. А. Сычугов, Г. П. Шипуло, “Исследование процесса формирования дифракционных решеток на поверхности оптических волноводов”, Квантовая электроника, 6:5 (1979), 1095–1097 [Sov J Quantum Electron, 9:5 (1979), 645–647]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe9077 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v6/i5/p1095
|
|