Эффекты эволюции энергии генерации в импульсно-периодическом эксимерном лазере на XeCl со средней мощностью ~ 400 Вт

Экспериментально исследована динамика изменения энергии генерации при различной частоте следования импульсов в XeCl импульсно-периодическом эксимерном лазере (ИПЭЛ) при использовании в качестве буферной газовой компоненты Не и Ne. Показано, что использование смеси газов на основе Ne обуславливает лучшее, чем на Не, сохранение однородности разряда в импульсно-периодическом режиме работы. На двухмодульном XeCl-ИПЭЛ в газовой смеси HCl:Xe:Ne = 1:10:1200 достигнут рекордный уровень средней мощности для электроразрядных ИПЭЛ ~400 Вт. Установлено, что снижение средней мощности генерации и ресурса работы ИПЭЛ может быть связано с образованием мелкодисперсных частиц в лазерном контуре, рассеивающих излучение и способствующих возникновению поглощающей пленки на зеркалах резонатора.