Исследование параметров плоских оптических волноводов, полученных методом ионного обмена в стекле

Экспериментально изучены зависимости эффективных показателей преломления ТМ- и ТЕ-мод от глубины волноводов, полученных в стекле ионным обменом в расплаве AgNO₃. Показано, что аппроксимация профиля показателя преломления функцией n(x) = n₀ – Δn[(x/d) + b(x/d)²] (d и b – параметры профиля) дает хорошую точность и возможность изготовления волноводов с необходимыми параметрами. Представлены результаты прямых измерений профиля n(x). Предложен метод определения эффективной толщины диффузионных волноводов с произвольным профилем n(x), основанный на измерениях эффективных показателей преломления только ТМ-мод или только ТЕ-мод. Показано, что в силу анизотропии диффузионных волноводов использование предложенного ранее метода измерения эффективной толщины по разности n*_TE – n*_TM допустимо для волноводов с малым числом мод.