Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия и ближнепольные оптические зонды: свойства, изготовление и контроль параметров

Во введении приведен краткий обзор современных областей использования ближнепольных оптических (БО) устройств, и среди них БО микроскопии, спектроскопии и литографии. Обсуждается проблема создания БО зондов как наиболее важного элемента БО устройств, от которого зависит разрешение и эффективность БО приборов. На основе работ авторов детально рассмотрены два различных подхода к формированию БО зондов с использованием адиабатического утоньшения оптического волокна: механическая вытяжка при лазерном нагреве и химическое травление. Предложен, обоснован и экспериментально опробован неразрушающий оптический метод контроля нанометрической апертуры БО зондов. Идея метода – реконструкция ближнепольного источника с помощью теоретического алгоритма обратной задачи из экспериментального дальнепольного распределения. Обсуждаются некоторые перспективы дальнейшего совершенствования конструкций и технологий БО зондов.