Спектральные характеристики плоских многослойных амплитудных дифракционных решеток мягкого рентгеновского диапазона

С использованием широкополосного лазерно-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения исследован ряд спектральных характеристик плоских амплитудных молибден-кремниевых многослойных дифракционных решеток (1000 и 2000 штр./мм), изготовленных методом электронно-лучевой литографии. Решетки с периодом многослойной структуры 11.5 нм изучались в схеме квазистигматического спектрографа с умеренной дисперсией как при почти нормальном падении, так и при угле падения 36°. Определена спектральная форма резонансного отражения решеток в первом и втором интерференционных порядках многослойной структуры при различных углах падения. С помощью даннных многослойных решеток получен линейчатый спектр многозарядных ионов F V,VI в диапазоне 16.0 — 18.5 нм, оценена разрешающая способность решеток.