Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1989, том 16, номер 6, страницы 1226–1237 (Mi qe8175)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Воздействие излучения на вещество

Теория лазерно-индуцированной генерации периодического рельефа поверхности при фотохимическом травлении полупроводников

В. Я. Панченко, В. Н. Семиногов, А. И. Худобенко

Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам АН СССР, Московская обл., г. Троицк
Аннотация: Развита строгая аналитическая теория лазерной генерации периодического поверхностного рельефа при фотохимическом травлении полупроводников в условиях незначительного нагрева поверхности, а также при пиролитических реакциях травления поверхности и осаждения пленок, поглощающих лазерное излучение. Вычислены инкременты экспоненциального во времени нарастания доминирующих структур, их периоды и ориентации в зависимости от интенсивности, угла падения, поляризации падающего излучения и параметров обрабатываемой поверхности. Теоретические результаты хорошо согласуются со всей совокупностью экспериментальных данных.
Поступила в редакцию: 22.03.1988
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1989, Volume 19, Issue 6, Pages 794–801
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1989v019n06ABEH008175
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826
PACS: 81.65.Cf, 79.20.Ds, 42.62.Cf


Образец цитирования: В. Я. Панченко, В. Н. Семиногов, А. И. Худобенко, “Теория лазерно-индуцированной генерации периодического рельефа поверхности при фотохимическом травлении полупроводников”, Квантовая электроника, 16:6 (1989), 1226–1237 [Sov J Quantum Electron, 19:6 (1989), 794–801]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe8175
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v16/i6/p1226
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:190
    PDF полного текста:86
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024