|
Квантовая электроника, 1989, том 16, номер 6, страницы 1226–1237
(Mi qe8175)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Воздействие излучения на вещество
Теория лазерно-индуцированной генерации периодического рельефа поверхности при фотохимическом травлении полупроводников
В. Я. Панченко, В. Н. Семиногов, А. И. Худобенко Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам
АН СССР, Московская обл., г. Троицк
Аннотация:
Развита строгая аналитическая теория лазерной генерации периодического поверхностного рельефа при фотохимическом травлении полупроводников в условиях незначительного нагрева поверхности, а также при пиролитических реакциях травления поверхности и осаждения пленок, поглощающих лазерное излучение. Вычислены инкременты экспоненциального во времени нарастания доминирующих структур, их периоды и ориентации в зависимости от интенсивности, угла падения, поляризации падающего излучения и параметров обрабатываемой поверхности. Теоретические результаты хорошо согласуются со всей совокупностью экспериментальных данных.
Поступила в редакцию: 22.03.1988
Образец цитирования:
В. Я. Панченко, В. Н. Семиногов, А. И. Худобенко, “Теория лазерно-индуцированной генерации периодического рельефа поверхности при фотохимическом травлении полупроводников”, Квантовая электроника, 16:6 (1989), 1226–1237 [Sov J Quantum Electron, 19:6 (1989), 794–801]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe8175 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v16/i6/p1226
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 187 | PDF полного текста: | 82 | Первая страница: | 1 |
|