Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS


Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти




Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация

Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 9, страницы 1235–1236 (Mi qe7427)  
Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Оптическая система для лазерной пантографии

А. М. Бакиев, С. Х. Валиев

Отдел теплофизики АН УзССР
PDF полного текста (694 kB)
Аннотация: Приведены оптическая схема установки для лазерной пантографии и результаты обработки поверхности полупроводниковых пластин. Ширина микроканавок, полученных за счет термической обработки, достигает 2 мкм.
Поступила в редакцию: 02.08.1989
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 9, Pages 1145–1146
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n09ABEH007427
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.378.325
PACS: 42.62.-b, 81.65.-b


Образец цитирования: А. М. Бакиев, С. Х. Валиев, “Оптическая система для лазерной пантографии”, Квантовая электроника, 17:9 (1990), 1235–1236 [Sov J Quantum Electron, 20:9 (1990), 1145–1146]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe7427
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i9/p1235
    • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    		Квантовая электроника Quantum Electronics
     
      Обратная связь:
    		  Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024