Электронно-пучковый ArF-лазер

Экспериментально исследована работа электронно-пучкового ArF-лазера (ЭПЛ). Проведена оптимизация компонентного состава рабочей газовой смеси (РГС), получены спектры генерации и люминесценции активной среды. На РГС Ne–Ar-F₂ при давлении 6 атм достигнута энергия генерации 3,5 Дж с КПД среды 3,5 %. На основе предложенной схемы плазмохимических процессов в активной среде ArF-ЭПЛ анализируются полученные результаты и делаются выводы о потенциальных возможностях этого лазера и условиях их реализации.