Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 7, страницы 949–950 (Mi qe7128)  

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Применение лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Лазерный проекционный микроскоп с темным полем

А. М. Бакиев, С. Х. Валиев, Н. В. Кряжев

Специальное конструкторское бюро с опытным производством Отдела теплофизики АН УзССР, Ташкент
Аннотация: Приведены результаты экспериментального исследования лазерного проекционного микроскопа с темным полем. Изучены поверхности различных объектов–лазерного зеркала, поверхностной решетчатой структуры, участка лазерной микрообработки в пленочной структуре и другие. В дифракционном изображении объектов хорошо разрешены микродефекты как самих подложек, так и структур на поверхности.
Поступила в редакцию: 16.11.1989
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 7, Pages 871–872
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n07ABEH007128
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.378.9:535.82
PACS: 07.60.Pb, 42.62.-b, 42.30.-d


Образец цитирования: А. М. Бакиев, С. Х. Валиев, Н. В. Кряжев, “Лазерный проекционный микроскоп с темным полем”, Квантовая электроника, 17:7 (1990), 949–950 [Sov J Quantum Electron, 20:7 (1990), 871–872]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe7128
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i7/p949
  • Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:143
    PDF полного текста:82
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024