|
Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 7, страницы 949–950
(Mi qe7128)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Применение лазеров и другие вопросы квантовой электроники
Лазерный проекционный микроскоп с темным полем
А. М. Бакиев, С. Х. Валиев, Н. В. Кряжев Специальное конструкторское бюро с опытным производством Отдела теплофизики АН УзССР, Ташкент
Аннотация:
Приведены результаты экспериментального исследования лазерного проекционного микроскопа с темным
полем. Изучены поверхности различных объектов–лазерного зеркала, поверхностной решетчатой структуры,
участка лазерной микрообработки в пленочной структуре и другие. В дифракционном изображении
объектов хорошо разрешены микродефекты как самих подложек, так и структур на поверхности.
Поступила в редакцию: 16.11.1989
Образец цитирования:
А. М. Бакиев, С. Х. Валиев, Н. В. Кряжев, “Лазерный проекционный микроскоп с темным полем”, Квантовая электроника, 17:7 (1990), 949–950 [Sov J Quantum Electron, 20:7 (1990), 871–872]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe7128 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i7/p949
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 143 | PDF полного текста: | 82 | Первая страница: | 1 |
|