М. Р. Брук, Ф. В. Бункин, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев, “Кинетика лазерно-стимулированного травления CdxHg1 – xTe”, Квантовая электроника, 17:7 (1990), 931–933 [Sov J Quantum Electron, 20:7 (1990), 854

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 7, страницы 931–933 (Mi qe7117)

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

Применение лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Кинетика лазерно-стимулированного травления Cd_xHg_1 – xTe

М. Р. Брук, Ф. В. Бункин, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев

Институт общей физики АН СССР, Москва

PDF полного текста (955 kB) Список цитирования (1)

Аннотация: Экспериментально исследовано лазерно-стимулированное травление полупроводника A^IIB^VI в жидких Br₂-содержащих травителях. Получены канавки прямоугольного профиля в Cd_xHg_1 – xTe при скоростях сканирования до 1 см/с с пространственным разрешением ~5 мкм на глубину ~20 мкм. Показано, что кинетика травления определяется развитием термодиффузионной неустойчивости в слое травителя.

Поступила в редакцию: 05.04.1989

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1990, Volume 20, Issue 7, Pages 854–856
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1990v020n07ABEH007117

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 620.179.111.5:621.373.826

PACS: 79.20.Ds, 81.65.Cf, 66.10.Cb

Образец цитирования: М. Р. Брук, Ф. В. Бункин, A. A. Лялин, Г. А. Шафеев, “Кинетика лазерно-стимулированного травления Cd_xHg_1 – xTe”, Квантовая электроника, 17:7 (1990), 931–933 [Sov J Quantum Electron, 20:7 (1990), 854–856]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe7117

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i7/p931

Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы