Лазерная термохимическая технология синтеза дифракционных оптических элементов на пленках хрома

Разработана технология синтеза дифракционных оптических элементов на тонких пленках хрома. Технология включает в себя экспонирование сфокусированным лучом лазера вращающейся с постоянной скоростью подложки, покрытой тонкой пленкой хрома и ее последующую химическую обработку в селективном травителе. С помощью лазерного фотопостроителя проведены эксперименты по изучению воздействия непрерывно движущегося сфокусированного лазерного луча на хромовые пленки, нанесенные на стеклянные подложки. Исследована зависимость ширины формируемых дорожек от скорости движения пятна света и от величины подводимой мощности. Показано, что с помощью разработанной технологии возможна запись дифракционных структур с разрешением свыше 1000 мм^–1. Для иллюстрации практических возможностей разработанной технологии, изготовлены фотошаблоны зонных пластинок Френеля с числовой апертурой 0,65 и диаметром 47 мм для длины волны 0,63 мкм. Распределение энергии в кружке Эйри изготовленных пластинок близко к дифракционному.