Исследование диффузионных полосковых волноводов в стекле

Разработаны методики изготовления и измерения параметров полосковых диффузионных волноводов в стекле. Изучен модовый состав излучения полосковых волноводов различной ширины и на основе этого определен профиль показателя преломления как по глубине, так и по ширине полосковых волноводов. Установлено, что имеет место диффузия ионов металлов под маску, приводящая к изменению размеров полосковых волноводов.