Д. В. Баранов, А. А. Егоров, Е. М. Золотов, К. К. Свидзинский, “Формирование отображения микроступенчатого профиля в гетеродинном дифференциально-фазовом микроскопе”, Квантовая электроника, 23:4 (1996), 368–369 [Quantum Electron., 26:4 (1996), 360

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1996, том 23, номер 4, страницы 368–369 (Mi qe671)

Применения лазеров и другие вопросы квантовой электроники

Формирование отображения микроступенчатого профиля в гетеродинном дифференциально-фазовом микроскопе

Д. В. Баранов, А. А. Егоров, Е. М. Золотов, К. К. Свидзинский

Институт общей физики им. А. М. Прохорова РАН, г. Москва

PDF полного текста (209 kB)

Аннотация: Представлена теория формирования отображения микрообъектов произвольной формы в лазерном гетеродинном дифференциально-фазовом микроскопе. На основе этой теории разработан метод измерения со сверхразрешением параметров микрообъектов типа ступеньки. Экспериментально показана возможность использования этого метода для анализа глубоких (h > λ/8) амплитудно-фазовых ступенек с размытием не менее 0.1 мкм.

Поступила в редакцию: 01.01.1996

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1996, Volume 26, Issue 4, Pages 360–364
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1996v026n04ABEH000671

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 07.60.Pb, 42.30.Va, 42.62.Eh

Образец цитирования: Д. В. Баранов, А. А. Егоров, Е. М. Золотов, К. К. Свидзинский, “Формирование отображения микроступенчатого профиля в гетеродинном дифференциально-фазовом микроскопе”, Квантовая электроника, 23:4 (1996), 368–369 [Quantum Electron., 26:4 (1996), 360–364]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe671

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v23/i4/p368

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	109
PDF полного текста:	89

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы