|
Квантовая электроника, 1982, том 9, номер 11, страницы 2329–2330
(Mi qe6179)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 2 научных статьях (всего в 2 статьях)
Краткие сообщения
Создание и исследование тонкопленочных волноводов на основе CdSxSe1–x
З. Э. Буачидзе, И. В. Василищева, В. Н. Морозов, В. А. Плетнев, А. С. Семенов, П. В. Шапкин Физический институт им. П. Н. Лебедева АН СССР, Москва
Аннотация:
Методом диффузии созданы и исследованы волноводы на основе твердых растворов CdSxSe1–x с потерями 9–13 дБ/см. Определен профиль показателя преломления этих волноводов. Фотохимическим травлением на поверхности волноводов записаны дифракционные решетки с разрешением 103 лин/мм с глубиной гофра 40 нм.
Поступила в редакцию: 25.06.1982
Образец цитирования:
З. Э. Буачидзе, И. В. Василищева, В. Н. Морозов, В. А. Плетнев, А. С. Семенов, П. В. Шапкин, “Создание и исследование тонкопленочных волноводов на основе CdSxSe1–x”, Квантовая электроника, 9:11 (1982), 2329–2330 [Sov J Quantum Electron, 12:11 (1982), 1514–1516]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe6179 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v9/i11/p2329
|
|