Экспериментальное исследование характеристик плоского скользящего разряда

Исследованы световые и электрические характеристики плоского скользящего разряда применительно к использованию его в лазерных устройствах. Определены оптимальные значения времени и величины энерговклада в разряд, при которых коэффициент преобразования электрической энергии в энергию УФ излучения 240–340 нм составил 5,5;3,5 и 1,25% соответственно для газовых смесей Xe:F₂=10:1, Ar:F₂=10:1 и He:F₂=10:1 атмосферного давления. Предложено устройство химического лазера с инициированием плоским скользящим разрядом. Исследована возможность увеличения доли УФ излучения за счет образования в плазме скользящего разряда эксимерных комплексов типа КгF*, XeCl*. Для газовой смеси НСl : Хе : Ar = 1 : 1 : 30 излучение эксимерных молекул преобладало в оптическом выходе скользящего разряда при удельных энерговкладах < 5 мДж/см². Продемонстрирована возможность создания на основе скользящего разряда эксимерных импульсных ламп с высокой частотой повторения (до ~10 кГц) и средней мощностью УФ излучения с единицы площали ~0,3 Вт/см².