В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков, “Импульсное лазерное напыление тонких пленок InxGa1–xAs”, Квантовая электроника, 23:1 (1996), 73–75 [Quantum Electron., 26:1 (1996), 71

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1996, том 23, номер 1, страницы 73–75 (Mi qe592)

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Импульсное лазерное напыление тонких пленок In_xGa_1–xAs

В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков

Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН, г. Троицк

PDF полного текста (179 kB) Список цитирования (7)

Аннотация: Исследовано скоростное распределение капель и атомной составляющей плазменного факела, возникающего при лазерной абляции полупроводниковых мишеней из InAs и GaAs. Показано, что скорость атомов по крайней мере в 6 раз выше скорости капель. Предложен механический фильтр скоростей для удаления капель из плазменного факела. Показано, что при использовании составной мишени возможно получение эпитаксиальных пленок In_xGa_1–xAs различного состава.

Поступила в редакцию: 01.01.1996

Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1996, Volume 26, Issue 1, Pages 71–73
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1996v026n01ABEH000592

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

PACS: 68.55.Bd, 68.55.Nq, 42.62.Cf

Образец цитирования: В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков, “Импульсное лазерное напыление тонких пленок In_xGa_1–xAs”, Квантовая электроника, 23:1 (1996), 73–75 [Quantum Electron., 26:1 (1996), 71–73]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe592

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v23/i1/p73

Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы