Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1996, том 23, номер 1, страницы 73–75 (Mi qe592)  

Эта публикация цитируется в 7 научных статьях (всего в 7 статьях)

Воздействие лазерного излучения на вещество. Лазерная плазма

Импульсное лазерное напыление тонких пленок InxGa1–xAs

В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков

Научно-исследовательский центр по технологическим лазерам РАН, г. Троицк
Аннотация: Исследовано скоростное распределение капель и атомной составляющей плазменного факела, возникающего при лазерной абляции полупроводниковых мишеней из InAs и GaAs. Показано, что скорость атомов по крайней мере в 6 раз выше скорости капель. Предложен механический фильтр скоростей для удаления капель из плазменного факела. Показано, что при использовании составной мишени возможно получение эпитаксиальных пленок InxGa1–xAs различного состава.
Поступила в редакцию: 01.01.1996
Англоязычная версия:
Quantum Electronics, 1996, Volume 26, Issue 1, Pages 71–73
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1996v026n01ABEH000592
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
PACS: 68.55.Bd, 68.55.Nq, 42.62.Cf


Образец цитирования: В. Н. Буримов, А. Н. Жерихин, В. Л. Попков, “Импульсное лазерное напыление тонких пленок InxGa1–xAs”, Квантовая электроника, 23:1 (1996), 73–75 [Quantum Electron., 26:1 (1996), 71–73]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe592
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v23/i1/p73
  • Эта публикация цитируется в следующих 7 статьяx:
    Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:290
    PDF полного текста:208
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024