Исследование лазер-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения при плотностях потока 5·1011–2·1014 Вт/см2

Исследована зависимость коэффициента преобразования лазерного излучения, нагревающего мишень, в рентгеновское излучение образующейся при этом плазмы в широких диапазонах плотностей потока лазерного излучения (5·10¹¹–2·10¹⁴ Вт/см²) и атомных номеров материала мишени (4–92). В условиях данного эксперимента даны оценки экспозиционной дозы для рентгенолитографического резиста с использованием лазер-плазменного источника мягкого рентгеновского излучения.