|
Квантовая электроника, 1990, том 17, номер 3, страницы 264–266
(Mi qe5588)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)
Письма в редакцию
Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм
В. П. Тычинский, А. В. Тавров Московский институт радиотехники, электроники и автоматики
Аннотация:
Показано, что в фазовом изображении объекта может быть реализовано сверхрелеевское пространственное
разрешение. Измерения на компьютерном фазовом микроскопе подтвердили возможность определения координаты
резкого изменения высоты профиля полупроводниковой структуры с точностью выше 10 нм.
Поступила в редакцию: 27.10.1989
Образец цитирования:
В. П. Тычинский, А. В. Тавров, “Лазерный компьютерный фазовый микроскоп с пространственным разрешением 10 нм”, Квантовая электроника, 17:3 (1990), 264–266 [Sov J Quantum Electron, 20:3 (1990), 206–207]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe5588 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v17/i3/p264
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 190 | PDF полного текста: | 111 | Первая страница: | 1 |
|