|
Квантовая электроника, 1986, том 13, номер 1, страницы 25–29
(Mi qe5132)
|
|
|
|
Исследование возможностей многолучевой интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС
А. В. Веселов, Г. В. Комлева, В. И. Мрачковский
Аннотация:
Рассмотрены методы применения многолучевой, интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС и проведена оценка их возможностей. Устранение влияния дифракции позволило получить при осциллографической регистрации погрешность измерения сдвига полос ΔN = ±1/300 полосы. Такая погрешность
позволяет фиксировать различие в толщине стенки мишени с точностью Δd = ±2 нм, что при толщине стенки d~1 мкм соответствует Δd/d = ±0,2%. При измерении давления газа в мишени погрешность измерения сдвига полос в 1/300 полосы дает ошибку в определении давления газа, равную Δp = ± 0,1 атм для мишеней диаметром ~150 мкм.
Поступила в редакцию: 16.10.1984
Образец цитирования:
А. В. Веселов, Г. В. Комлева, В. И. Мрачковский, “Исследование возможностей многолучевой интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС”, Квантовая электроника, 13:1 (1986), 25–29 [Sov J Quantum Electron, 16:1 (1986), 13–16]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe5132 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v13/i1/p25
|
Статистика просмотров: |
Страница аннотации: | 128 | PDF полного текста: | 143 | Первая страница: | 1 |
|