Квантовая электроника
RUS  ENG    ЖУРНАЛЫ   ПЕРСОНАЛИИ   ОРГАНИЗАЦИИ   КОНФЕРЕНЦИИ   СЕМИНАРЫ   ВИДЕОТЕКА   ПАКЕТ AMSBIB  
Общая информация
Последний выпуск
Архив
Импакт-фактор
Правила для авторов
Загрузить рукопись

Поиск публикаций
Поиск ссылок

RSS
Последний выпуск
Текущие выпуски
Архивные выпуски
Что такое RSS



Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
Найти






Персональный вход:
Логин:
Пароль:
Запомнить пароль
Войти
Забыли пароль?
Регистрация


Квантовая электроника, 1986, том 13, номер 1, страницы 25–29 (Mi qe5132)  

Исследование возможностей многолучевой интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС

А. В. Веселов, Г. В. Комлева, В. И. Мрачковский
Аннотация: Рассмотрены методы применения многолучевой, интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС и проведена оценка их возможностей. Устранение влияния дифракции позволило получить при осциллографической регистрации погрешность измерения сдвига полос ΔN = ±1/300 полосы. Такая погрешность позволяет фиксировать различие в толщине стенки мишени с точностью Δd = ±2 нм, что при толщине стенки d~1 мкм соответствует Δd/d = ±0,2%. При измерении давления газа в мишени погрешность измерения сдвига полос в 1/300 полосы дает ошибку в определении давления газа, равную Δp = ± 0,1 атм для мишеней диаметром ~150 мкм.
Поступила в редакцию: 16.10.1984
Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1986, Volume 16, Issue 1, Pages 13–16
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1986v016n01ABEH005132
Реферативные базы данных:
Тип публикации: Статья
УДК: 621.373.826:533.9
PACS: 52.50.Jm, 52.57.-z, 52.70.Kz


Образец цитирования: А. В. Веселов, Г. В. Комлева, В. И. Мрачковский, “Исследование возможностей многолучевой интерферометрии для контроля параметров мишеней для ЛТС”, Квантовая электроника, 13:1 (1986), 25–29 [Sov J Quantum Electron, 16:1 (1986), 13–16]
Образцы ссылок на эту страницу:
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe5132
  • https://www.mathnet.ru/rus/qe/v13/i1/p25
  • Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
    Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles
    Квантовая электроника Quantum Electronics
    Статистика просмотров:
    Страница аннотации:132
    PDF полного текста:144
    Первая страница:1
     
      Обратная связь:
     Пользовательское соглашение  Регистрация посетителей портала  Логотипы © Математический институт им. В. А. Стеклова РАН, 2024