|
Квантовая электроника, 1984, том 11, номер 5, страницы 994–998
(Mi qe5103)
|
|
|
|
Эта публикация цитируется в 14 научных статьях (всего в 14 статьях)
Исследование оптических волноводов, полученных диффузией титана в LiTaO3
В. В. Атучин, К. К. Зилинг, Д. П. Шипилова Институт физики полупроводников СО АН СССР, Новосибирск
Аннотация:
Исследованы оптические характеристики волноводных слоев, полученных диффузией титана в LiTaO3, установлена количественная зависимость изменения показателей преломления от концентрации легирующего элемента, определены параметры диффузии Ti в Y- и Z-срезы кристаллов в температурном интервале 1165–1310 °C. Результаты работы дают необходимую совокупность данных, требующихся для контролируемого получения указанных структур.
Поступила в редакцию: 06.07.1983
Образец цитирования:
В. В. Атучин, К. К. Зилинг, Д. П. Шипилова, “Исследование оптических волноводов, полученных диффузией титана в LiTaO3”, Квантовая электроника, 11:5 (1984), 994–998 [Sov J Quantum Electron, 14:5 (1984), 671–674]
Образцы ссылок на эту страницу:
https://www.mathnet.ru/rus/qe5103 https://www.mathnet.ru/rus/qe/v11/i5/p994
|
|