В. П. Вейко, Е. А. Тучкова, Е. Б. Яковлев, “О разрешающей способности лазерной литографии на тонких металлических пленках”, Квантовая электроника, 11:4 (1984), 661–665 [Sov J Quantum Electron, 14:4 (1984), 449

Квантовая электроника

RUS ENG

ЖУРНАЛЫ ПЕРСОНАЛИИ ОРГАНИЗАЦИИ КОНФЕРЕНЦИИ СЕМИНАРЫ ВИДЕОТЕКА ПАКЕТ AMSBIB

JavaScript is disabled in your browser. Please switch it on to enable full functionality of the website

	Общая информация
	Последний выпуск
	Архив
	Импакт-фактор
	Правила для авторов
	Загрузить рукопись

	Поиск публикаций
	Поиск ссылок

	RSS
	Последний выпуск
	Текущие выпуски
	Архивные выпуски
	Что такое RSS

Квантовая электроника:
Год:
Том:
Выпуск:
Страница:
	Найти

Персональный вход:
Логин:
Пароль:
	Запомнить пароль
	Войти
	Забыли пароль?
	Регистрация

Квантовая электроника, 1984, том 11, номер 4, страницы 661–665 (Mi qe4998)

Эта публикация цитируется в 1 научной статье (всего в 1 статье)

О разрешающей способности лазерной литографии на тонких металлических пленках

В. П. Вейко, Е. А. Тучкова, Е. Б. Яковлев

PDF полного текста (894 kB) Список цитирования (1)

Аннотация: Теоретически рассмотрена разрешающая способность лазерной термолитографии при разрушающем и неразрушающем воздействии. Показано, что при неразрушающем воздействии максимальная разрешающая способность лазерной литографии соответствует разрешающей способности используемой оптической системы, а при разрушающем воздействии она определяется свойствами материала пленки и подложки, толщиной пленки и режимом облучения. Определены условия, при которых разрешающая способность лазерной термолитографии максимальна.

Поступила в редакцию: 22.02.1983

Англоязычная версия:
Soviet Journal of Quantum Electronics, 1984, Volume 14, Issue 4, Pages 449–452
DOI: https://doi.org/10.1070/QE1984v014n04ABEH004998

Реферативные базы данных:

Тип публикации: Статья

УДК: 776:621.373.826

PACS: 42.62.-b, 42.30.Va, 42.60.Jf, 61.80.Ba, 61.82.Bg

Образец цитирования: В. П. Вейко, Е. А. Тучкова, Е. Б. Яковлев, “О разрешающей способности лазерной литографии на тонких металлических пленках”, Квантовая электроника, 11:4 (1984), 661–665 [Sov J Quantum Electron, 14:4 (1984), 449–452]

Образцы ссылок на эту страницу:

https://www.mathnet.ru/rus/qe4998

https://www.mathnet.ru/rus/qe/v11/i4/p661

Эта публикация цитируется в следующих 1 статьяx:

Citing articles in Google Scholar: Russian citations, English citations
Related articles in Google Scholar: Russian articles, English articles

Статистика просмотров:
Страница аннотации:	197
PDF полного текста:	153
Первая страница:	1

Что такое QR-код?

Обратная связь:

Пользовательское соглашение

Регистрация посетителей портала

Логотипы